常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器

摘要

一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，属于等离子体技术领域。其特征在于：该发生器有两个表面彼此平行的水冷平板金属电极组成，其中一电极经过匹配器与射频电源连接，另一电极与地连接，在开放的常压下放电；靠近入气口的电极上粘结绝缘材料板条构成入气通道，该进气通道通过多个进气导管与配气系统相连，在电极极板缝隙间放电形成的均匀稳定的冷等离子体经电极出口端向外流出，形成大面积的等离子体射流。本发明的效果和益处是在以氩氧、氩氮二元气体为工作气体产生低温、大面积、均匀稳定、活性粒子浓度高的冷等离子体射流，从而实现等离子体技术在表面清洗、灭菌、消毒、电路板氧化和表面改性上的应用。