声明
第一章 绪论
1.1 新型非易失性存储器(NVM)简介
1.2 电阻开关存储器(RRAM)的研究进展
1.3 STO薄膜研究应用现状
1.4 本文研究目的和研究内容简介
第二章 掺铁STO(Fe-STO)薄膜与器件的制备与微结构表征
2.1 掺铁STO薄膜与器件制备工艺和微结构表征仪器简介
2.2 掺铁STO薄膜微结构表征分析
2.3 底电极Ag金属薄膜微结构表征分析
2.4 本章小结
第三章 掺铁STO薄膜的电阻开关特性
3.1 电阻开关存储器件电学性能测试的设备与参数
3.2 掺铁STO薄膜沉积厚度对器件电阻开关特性的影响
3.3 掺铁STO薄膜沉积温度对器件电阻开关特性的影响
3.4底电极材料和形貌对器件电阻开关特性的影响
3.5掺铁STO薄膜电阻开关特性的物理微观机制
3.6本章小结
第四章 结论与展望
4.1主要研究内容和结论
4.2实验与研究展望
参考文献
硕士期间发表的论文和参加的学术活动
致谢
西南大学;
