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表清单
1 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 微小气体流量标准装置分类
1.3 微小气体流量计量研究现状
1.4 活塞式流量标准装置研究现状
1.5 研究目的和研究内容
2 微小气体流量标准装置方案设计及分析
2.1 标准装置方案设计及工作原理
2.2 标准装置检定模型
2.3 标准装置特性分析
2.4 标准装置结构设计与计算
2.5 本章小结
3 校准模型设计
3.1 皂膜流量计校准设计
3.2 质量流量计校准设计
3.3 浮子流量计校准设计
3.4 临界流喷嘴校准设计
3.5 本章小结
4 微小气体流量标准装置的仿真研究
4.1 FLUENT简介
4.2 仿真模型分析
4.3 装置动态校准的仿真研究
4.4 本章小结
5 微小气体流量标准装置控制系统设计
5.1 控制系统总体设计
5.2 下位机控制系统设计
5.3 上位机检定系统设计
5.4 本章小结
6 实验研究
6.1 装置气密性实验
6.2 比对实验
6.3 装置不确定度分析及校准实验
6.4 本章小结
7 总结与展望
7.1 工作总结
7.2论文创新点
7.3研究展望
参考文献
作者简介
中国计量学院;