微小流量pVTt法气体流量标准装置的研制

摘要

介绍了pVTt法气体流量标准装置的设计原理和方案，给出了装置主要参数的测试方法及测试结果，并对装置进行了不确定度评定。分析了该装置与0．1级1．8 m3pVTt法气体流量标准装置和0．2级的100 L钟罩装置标定同一组临界流文丘里喷嘴流出系数的结果，验证结果表明装置准确度为0．1级。