封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
第一章 绪 论
1.1 引言
1.2 光通讯发展
1.3 光衰减器概述
1.4 硅材料在集成光学中的发展和应用
1.5光衰减器的分类及发展现状
1.6 本文主要工作
第二章 平面光波导衰减器结构设计及关键工艺调试
2.1 平面光波导衰减器结构及工艺设计
2.2平面光波导衰减器关键工艺开发
2.3 本章小结
第三章 平面光波导衰减器的制作与分析
3.1 平面光波导衰减器的制作工艺流程
3.2 平面光波导光衰减器的制作工艺说明
3.3 本章小结
第四章 平面光波导衰减器性能测试
4.1平面光波导衰减器测试原理
4.2平面光波导衰减器性能分析
4.3 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 本文的主要贡献
5.2 下一步工作的展望
致谢
参考文献
电子科技大学;