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目录
第一章 绪 论
1.1 引言
1.2 微测辐射热计的可靠性研究
1.3 非晶硅微测辐射热计
1.4 论文的主要工作
第二章 基于非晶硅的双层微桥热学和力学性能仿真研究
2.1 有限元法及软件介绍
2.2 非晶硅微测辐射热计模型
2.3 热学仿真分析
2.4 力学仿真分析
2.5 热学和力学综合优化设计
2.6 本章小结
第三章 基于非晶硅的双层微桥振动和冲击性能仿真研究
3.1 模态分析
3.2 屈曲分析
3.3 振动分析
3.4 冲击分析
3.5 本章小结
第四章 微测辐射热计空气阻尼效应仿真研究
4.1 气体泄露
4.2 阻尼模型
4.3 稀薄气体下微测辐射热计振动分析
4.4 本章小结
第五章 新型微测辐射热计结构及可靠性优化设计探索
5.1 引言
5.2 传统双层微桥结构存在的不足
5.3 新型双层微桥结构的优化设计
5.4 本章小结
第六章 结论与展望
6.1 工作总结
6.2 展望
致谢
参考文献
附录
攻读硕士学位期间取得的研究成果
电子科技大学;