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飞法级MEMS电容型传感器读出技术研究

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第一章 绪论

1.1万物互联时代与电容型传感器

1.2飞法级电容型传感器读出技术

1.3性能去中心化读出技术

1.4本文所做主要工作

第二章 OSA读出技术

2.1飞法级电容型传感器的误差恶化效应

2.2 OSA读出技术的提出

2.3多重嵌套时钟驱动策略的提出

2.4本章小结

第三章 MEMS加速度计OSA读出电路

3.1飞法级MEMS加速度计敏感单元读出挑战

3.2高精度OSA开环读出电路

3.3低功耗OSA闭环读出电路

3.4本章小结

第四章 电容触摸屏MEFS-OSA读出系统

4.1电容型触摸屏的读出挑战

4.2耦合电场成型(MEFS)技术的提出

4.3 MEFS-OSA抗干扰读出系统

4.4本章小结

第五章 总结与展望

5.1总结

5.2 OSA技术的进一步挖掘

参考文献

致谢

作者简介

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著录项

  • 作者

    钟龙杰;

  • 作者单位

    西安电子科技大学;

  • 授予单位 西安电子科技大学;
  • 学科 电子科学与技术
  • 授予学位 博士
  • 导师姓名 来新泉;
  • 年度 2019
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 中文
  • 中图分类
  • 关键词

    MEMS; 电容型传感器; 读出;

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