几种MEMS电容传感器读出电路的分析和对比

摘要

随着IPHONE手机以及WII体感游戏的普及,MEMS传感器具有广大的市场和研发趋势.作为一种典型的MEMS传感器,电容式MEMS传感器以及后端的读出电路也得到了更多的关注和重视.首先介绍了电容式MEMS传感器的特点和应用;随后介绍和分析了几种常用的读出电路;并在CSMCOS工艺下仿真和测试了电路的输出性能，同时,提取了这几种电路的典型结构;最后,给出了在SPECTRE测试的结果,并总结了这几种电路的优缺点,为进一步的ASIC设计提供了很好的参考和分析。