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南芳;
哈尔滨工业大学;
三自由度; 角位移;
机译:用于微加速度传感器校准的压电驱动微倾角位移台:结构和控制策略
机译:微角位移和旋转中心的双斑点图案干涉测量
机译:使用预弯扭杆的热驱动扭转微镜,可实现大的静态角位移
机译:微操纵中的微指模块三自由度薄板并联机构设计
机译:新型可调刚度机械过阻尼执行器控制系统设计与实现
机译:基于压电驱动的新型三自由度旋转振动辅助微抛光系统的研制
机译:开发用于测量微/纳米平面三自由度运动的无源顺应机构
机译:最小表面效应三自由度微操纵器的设计
机译:三自由度MEMS活塞管静电微执行器
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