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目录
第一章绪论
1.1 引言
1.2 铁电材料
1.3 PZT材料简介
1.4 GaN和AlGaN/GaN半导体异质结构
1.5 铁电/半导体集成结构的研究现状
1.6 论文的选题及研究方案
第二章薄膜的制备及表征方法
2.1 薄膜常用制备方法
2.2 脉冲激光沉积系统
2.3 薄膜微观结构表征方法
2.4 薄膜的电学性能测试
第三章Al2O3衬底上PZT薄膜的生长及性能研究
3.1 Al2O3衬底上PZT薄膜的制备
3.2 薄膜的铁电性测试
3.3 薄膜的绝缘性测试
3.4 本章小结
第四章PZT与 AlGaN/GaN半导体异质结的集成及性能研究
4.1 PZT与AlGaN/GaN半导体异质结的集成
4.2 MFIS结构的微细加工
4.3 MFS结构电学性能
4.4 MFIS异质结构电学性能
4.5 本章小结
第五章结论
致谢
参考文献
攻读硕士期间取得的研究成果