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目录
第一章 绪论
1.1锂离子电池简介
1.2薄膜锂离子电池简介
1.3固态电解质简介
1.4锂离子电池负极材料简介
1.5本文的出发点与研究思路
第二章 材料制备与实验方法
2.1薄膜电极的制备方法
2.2溅射工艺参数的确定
2.3实验操作流程
2.4薄膜电极的物相与形貌分析
2.5电极材料的电化学分析方法
第三章 磁控溅射制备LiPON固态电解质及其性质研究
3.1引言
3.2实验部分
3.3结果与讨论
3.4 LiPON的氮化机理探讨
3.5本章小结
第四章 磁控溅射制备锡基合金负极材料及电化学性能研究
4.1引言
4.2薄膜锡电极的制备与性能研究
4.3薄膜锡-钛复合电极的制备与性能研究
4.4薄膜铜-锡-钛复合电极的制备与性能研究
第五章 结论
5.1总结
5.2不足之处与展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的研究成果