声明
第一章 绪 论
1.1 研究背景
1.2 国内外发展动态
1.3 本文的主要研究内容
第二章 MEMS谐振器实现方案
2.1 电容式谐振器
2.2 压电式谐振器
2.3 电容式谐振器与压电式谐振器的性能综合对比
2.4 本章小结
第三章 AlN压电谐振器的设计制作及测试建模
3.1 引言
3.2 TPoS压电谐振器设计
3.3 TPoS谐振器的测试与建模
3.4 本章小结
第四章 振荡器电路
4.1 引言
4.2 振荡器电路的分析
4.3 相位噪声分析
4.4 频率稳定度测试和分析
4.5 本章小结
第五章 MEMS振荡器的温度补偿方案
5.1 引言
5.2 温度补偿方案
5.3 本章小结
第六章 结论
6.1 本文工作
6.2 不足与改进
致谢
参考文献
攻硕期间取得的研究成果