声明
摘要
符号说明
第一章 绪论
1.1 研究背景、意义与研究现状
1.2 本文主要研究内容
参考文献
第二章 基本理论及实验与计算方法
2.1 光波导结构与基本原理
2.2 光波导的制备方法
2.3 波导性能测试及模拟计算方法
参考文献
第三章 碳化硅单晶中的波导与脊型波导特性研究
3.1 离子辐照与飞秒激光刻蚀4H-SiC晶体脊型光波导
参考文献
第四章 载能离子束辐照与精密金刚石刀切割无序晶体波导特性研究
4.1 碳离子辐照与精密金刚石刀切割Nd∶CNGG晶体光波导导波特性研究
4.2 碳离子注入与精密金刚石刀切割黄长石晶体光波导的导波特性研究
参考文献
第五章 总结
5.1 主要结果
5.2 主要创新点
攻读硕士学位期间发表的论文及获得的奖励
致谢
附两篇已发表论文
山东大学;