声明
1 绪论
1.1选题背景及意义
1.2 MEMS悬臂梁的发展及在传感领域的应用
1.2.1 MEMS技术简介
1.2.2 MEMS悬臂梁的研究现状
1.3 声压传感技术的研究现状
1.3.1 电学声压传感技术
1.3.2 光学声压传感技术
1.4 课题研究内容及论文安排
2 MEMS悬臂梁声压传感原理
2.1 悬臂梁谐振频率及形变的理论分析
2.2 悬臂梁谐振频率及形变的仿真
2.2.1 有限元分析和COMSOL软件
2.2.2 基于COMSOL软件的悬臂梁振动仿真
2.3 本章小结
3 悬臂梁F-P声压传感器
3.1 传感器的测量原理
3.1.1 F-P腔的光学结构
3.1.2 F-P腔的解调方法
3.2 传感器的制作
3.3 传感器的声压测试
3.4 传感器的振动测试
3.5 本章小结
4 悬臂梁脊形波导-单模光纤耦合传感器
4.1 传感器的设计及原理
4.1.1 脊形波导-单模光纤耦合损耗分析
4.1.2 脊形波导设计及模场仿真
4.1.3 传感器的结构设计
4.2 传感器的制作
4.3 传感器的声压测试
4.4 光声测试
4.4.1 光声光谱法的工作原理
4.4.2 光声测试实验
4.5 本章小结
5 总结与展望
5.1 总结
5.2 本文的主要创新点
5.3 展望
致谢
参考文献
附录：攻读硕士学位期间所取得的成果
