UV光致可剥离胶的研究与制备

摘要

UV光致可剥离胶要求在光照前具有压敏胶的性质，后期可以经紫外光照射能够瞬间失去粘性。日本、美国及韩国等少数公司都在做这方面研究，在产品性能、产量、品种等方面有很快的发展，已推广应用到仪器、仪表、电子、汽车等行业，运用于单晶硅、光学玻璃等多种光电材料的精密加工过程。目前这种UV光致可剥离胶在我国还不能生产，主要依靠从日本进口，价格昂贵，随着我国高技术企业的不断增多，开拓UV光致可剥离胶国内市场有很广阔的发展前景。
　　本研究针对上述问题提出了两种UV光致可剥离胶体的制备方法。一种是采用溶液聚合的方法合成带有反应性基团的丙烯酸酯共聚物溶液(即基胶)，向基胶中加入多官能团光敏树脂，两者混配制得；另一种基胶采用热塑性弹性体与增粘树脂的混合，同样向基胶中加入多官能团光敏树脂，两者混配制得。
　　研究内容主要包括丙烯酸酯类单体用量，外加增塑剂(DOP)的含量，热塑性弹性体(TPE)、增粘树脂的种类及用量，光敏树脂的含量等因素对产品性能的影响。通过初粘力测试、180°剥离测试对产品力学性能进行了测试。通过溶解性测试、红外分析测试FT-IR、动态热机械分析DMA以及扫描电镜SEM对其结构性能进行了表征。
　　以上两种方法制得的UV光致可剥离胶，其紫外光照前180°剥离强度最高可达到15N/25mm，足以使晶圆材料很好的固定在基材上，满足晶圆等材料的切割、磨削等加工使用过程。粘结面经紫外光照射后，粘结力消失，被粘物可从基材上轻松脱离。

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第一章 绪论

1.1 UV光致可剥离胶研究进展

1.2 紫外光引发光聚合概述

1.3 UV光致可剥离胶概述

1.4 本论文的研究意义、创新性及研究内容

第二章 丙烯酸酯类基胶制备UV光致可剥离胶的研究

2.1 实验部分

2.2 性能测试及表征

2.3实验结果分析讨论

2.4 本章小结

第三章 热塑性弹性体类基胶制备UV光致可剥离胶的研究

3.1 热塑性弹性体的选择

3.2 增粘树脂的选择

3.3 实验部分

3.4 性能及分析测试

3.5 结果与讨论

3.6 本章小结

第四章 UV光致可剥离胶的结构性能的表征

4.1实验部分

4.2 性能及分析测试

4.3结果与讨论

4.4本章小结

第五章结论

参考文献

攻读硕士学位期间获得的科研成果

致谢