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第一章 综述
1.1 课题研究的背景和意义
1.2 微驱动器的原理及分类
1.2.1 电磁式驱动技术
1.2.2 非电磁式驱动技术
1.3 微驱动器研究现状
1.3.1 国外微驱动器研究现状
1.3.2 国内微驱动器研究现状
1.3.3 电磁悬浮式微驱动器的介绍
1.4 论文研究内容和主要工作
1.5 课题来源及组织结构
1.6 本章小结
第二章 电磁悬浮式微驱动器的理论分析
2.1 电磁悬浮式微驱动器的结构及工作原理
2.1.1 电磁悬浮式微驱动器结构
2.1.2 电磁悬浮式微驱动器工作原理
2.2 电磁悬浮式微驱动器的磁场分析
2.2.1 悬浮永磁阵列磁场分析
2.2.2 驱动导线阵列磁场分析
2.2.3 合成磁场及受力分析
2.3 电磁悬浮式微驱动器的运动分析
2.3.1 电磁悬浮式微驱动器的平动分析
2.3.2 电磁悬浮式微驱动器的转动分析
2.4 本章小结
第三章 电磁悬浮式微驱动器的驱动电路设计
3.1 电磁悬浮式微驱动器的驱动要求
3.2 电磁悬浮式微驱动器的驱动方案选择及电路设计
3.2.1 驱动方案选择
3.2.2 功率芯片的选择
3.2.3 驱动电路设计
3.2.4 反馈电路对放大电路性能的影响
3.3 试验及结果分析
3.4 本章小结
第四章 电磁悬浮式微驱动器的同步跟随设计
4.1 电磁悬浮式微驱动器的同步跟随要求
4.2 电磁悬浮式微驱动器的同步跟随方案选择及电路设计
4.2.1 同步跟随方案选择
4.2.2 同步跟随电路芯片选择
4.2.3 同步跟随电路设计
4.2.4 同步跟随软件设计及仿真
4.3 实验及结果分析
4.3.1 触发电流影响分析
4.3.2 同步信号触发影响分析
4.4 本章小结
第五章 电磁悬浮式微驱动器的实验研究
5.1 实验系统构成
5.2 实验结果及数据分析
5.2.1 驱动能力实验及分析
5.2.2 平动实验及分析
5.3 本章小结
第六章 总结与展望
6.1 论文创新点
6.2 工作总结
6.3 展望
参考文献
致 谢
攻读硕士学位期间发表的学术论文