电磁悬浮微驱动器的快速跟踪模糊控制

摘要

介绍了一种电磁悬浮微驱动器的工作原理;针对磁悬浮微驱动器的运动特点,提出了一种基于最大值原理的模糊PID微驱动控制方法.对每种控制单元的输入输出信号与控制参数作了详细分析与矫正;首先进行了仿真实验,然后构建了微驱动器的实验装置,采用阶跃,方波和阶梯等驱动信号来检验该微驱动器的跟踪能力;实验数据表明,仿真结果与实验结果基本一致,验证了所提出的微运动控制方法的正确性和可行性.