稀土系薄膜的晶体结构和电化学性能研究

摘要

该文采用直流磁控溅射方法分别在玻璃、ITO玻璃和Si片等基体上制备了富铈、富镧、La和Y等稀土系薄膜,对所制备的稀土薄膜在气态和电化学充放氢过程中的晶体结构、表面形貌、电化学性能和光学性能等进行了研究,并对其反应机理和失效原因进行了探讨.通过对制备工艺的研究,确定了在实验中所采用的磁控溅射系统中稀土系薄膜制备的最佳工艺参数.研究结果表明,衬底温度为150℃、Ar<'+>的溅射气压为4.5×10<'-1>Pa时比较适宜;溅射过程中,不同溅射靶之间的相互污染、氧化、碳化以及Pd保护层结晶性能的好坏等都对稀土薄膜的性能有很大影响.

目录

文摘

英文文摘

第一章绪论

1.1稀土概述及其在各领域地研究现状

1.2新型智能化节能材料-电致色薄膜

1.3具有可转换光学特性的稀土系薄膜

参考文献

第二章文献综述

2.1常规电致色材料的研究进展

2.1.1无机电致色材料

2.1.2有机电致色材料

2.1.3电致色薄膜的应用-节能灵巧窗

2.2稀土系电致色薄膜

2.2.1稀土元素氢化物的晶体结构及热力学特性

2.2.2稀土系薄膜的制备

2.2.3具有可转换光学特性稀土系薄膜

参考文献

第三章实验方法

3.1稀土薄膜的制备

3.1.1原材料成分

3.1.2熔炼和制靶

3.1.3基体材料的预处理

3.1.4磁控溅射镀稀土薄膜

3.2电化学性能测试

3.2.1电化学性能测试装置

3.2.2线形电位扫描法

3.2.3交流阻抗测量

3.3结构分析和表面测试

3.3.1 XRD测试

3.3.2 SEM与AFM分析

参考文献

第四章稀土系薄膜的制备

4.1膜厚的测定

4.2高真空度的获得

4.3温度对薄膜的影响

4.3.1温度对Pd/Y薄膜结构的影响

4.3.2温度对电化学充放氢的影响

4.4气压对薄膜的影响

4.5本章小结

参考文献

第五章Pd/Mm薄膜的结构、表面形貌和电化学性能

5.1 Pd/Mm薄膜的结构和表面形貌分析

5.2 Pd/Mm薄膜电极的循环伏安特性

5.3 Pd/Mm薄膜电极的交流阻抗行为

5.4本章小结

参考文献

第六章Pt/Ml薄膜的结构、表面形貌和电化学性能

6.1 Pt/Ml薄膜的结构和表面形貌分析

6.2 Pt/Ml薄膜电极的电化学性能

6.3本章小结

参考文献

第七章Pd/Y薄膜的结构、表面形貌和电光学性能

7.1 Pd/Y薄膜的结构和表面形貌分析

7.2 Pd/Y薄膜电极的充放电特性

7.3 Pd/Y薄膜的光学性能

7.4本章小结

参考文献

第八章结论

8.1磁控溅射制备工艺对膜性能的影响

8.2 Pd/Mm稀土薄膜

8.3 Pt/Ml稀土薄膜

8.4 Pd/Y稀土薄膜

攻读硕士期间发表的论文

致谢