一种原位研究二维材料低温晶体结构的装置及方法

摘要

本发明提供了一种原位研究二维材料低温晶体结构的装置及方法。包括低温控制系统、RHEED系统、衬底台、衬底台升降器、中空Z轴驱动器、真空系统。通过调节衬底台与换热装置的相对距离在低温和高温两种工作模式间进行切换。低温工作模式：衬底台背面和换热装置底端完全接触，适于二维材料的低温晶体结构测试和低熔点金属薄膜制备；高温工作模式：换热装置远离衬底台，高真空环境保证了极小的气体对流漏热。本发明在RHEED系统中集成低温控制系统，为二维材料的晶体结构测试提供了低温环境。其中，本发明的有益效果是：结构简单，操作方便，适合原位二维材料的低温晶体结构分析且不破坏样品结构。