紫外透明导电氧化镓薄膜的制备及性能表征

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本文对紫外透明导电氧化镓薄膜的制备及性能表征进行了研究。文章阐述了目前被广泛研究并业已成熟的透明导电氧化物薄膜材料，并对氧化镓薄膜的性质、制备方法及其在现代技术中的应用进行了综述和展望。利用自行设计的特殊靶托，首次采用直流反应磁控溅射和液态金属镓靶制备了氧化镓薄膜，并研究了溅射过程中不同工艺参数以及不同氧化方案对氧化镓薄膜结晶质量、光学性质的影响。利用X射线衍射仪，紫外—可见分光光度计，场发射扫描电镜，傅立叶红外光谱仪等对氧化镓薄膜的结构性能，光学性能及表面形貌进行了测试和分析。

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作者
袁苑;
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作者单位

浙江大学;

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授予单位浙江大学;
学科材料物理与化学
授予学位硕士
导师姓名季振国;
年度 2006
页码
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原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类薄膜的生长、结构和外延;溅射;
关键词
导电薄膜; 氧化镓; 薄膜制备; 磁控溅射;

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