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致谢
第一章绪论
1.1纳米科学与技术
1.1.1纳米科学与技术概述
1.1.2各国政府对纳米科学与技术的重视
1.1.3纳米科学与技术研究现状
1.2微机电与纳机电系统概述
1.2.1微机电系统概述
1.2.2纳机电系统概述
1.3纳机电谐振器研究现状
1.3.1纳机电谐振器加工技术
1.3.2纳机电谐振器检测方法
1.4论文主要研究内容及意义
第二章场效应管检测方法
2.1场效应管检测机理
2.2纳机电谐振器工艺制作
2.2.1工艺流程
2.2.2光刻工艺研究
2.2.3制作结果
2.2.4机械性能测试
2.3电学性能测试
2.3.1释放前电学性能测试
2.3.2释放后电学性能测试及表面效应
2.3.3等离子体处理后电学性能测试
2.4寄生效应的消除
2.5本章小结
第三章基于纳米线的谐振器制作
3.1基于BOE溶液选择性腐蚀PN结N型区域现象的谐振器制作
3.1.1含HF酸溶液选择性腐蚀PN结N型区域现象实验研究
3.1.2含HF酸溶液选择性腐蚀PN结N型区域的电化学机理
3.2基于TMAH各向异性腐蚀的谐振器制作
3.2.1 TMAH各向异性腐蚀
3.2.2纳机电谐振器制作
3.3本章小结
第四章微/纳机电谐振器噪声及机械辐射损伤特性分析
4.1微/纳机电谐振器噪声特性
4.2微/纳机电谐振器机械辐射损伤特性分析
4.2.1机械辐射损伤机理
4.2.2辐射实验
4.3本章小结
第五章总结
5.1本文主要结论
5.2今后工作展望
参考文献
作者简历