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致谢
第一章绪论
§1.1薄膜技术的应用和发展
§1.2光学薄膜光学特性检测技术
§1.2.1光学薄膜光学特性检测技术所要解决的问题
§1.2.2光学薄膜光度特性及检测系统
§1.2.3光学薄膜光学常数的反演方法
§1.2.4光学薄膜位相特性及检测方法
§1.3本论文的主要研究内容和创新点
§1.3.1本论文的主要研究内容
§1.3.2创新点
参考文献
第二章光学薄膜光度特性检测的研究
§2.1系统设计
§2.1.1总体设计
§2.1.2关键器件的设计与选择
§2.1.3控制系统设计
§2.1.4上位机软件设计
§2.2系统关键功能的实现
§2.2.1倾斜光入射测量
§2.2.2多角度反射率测量
§2.2.3偏振测试及自动校准
§2.2.4温度漂移特性测量
§2.2.5高精度数据采集系统
§2.3误差及精度分析
§2.3.1系统误差及解决方法
§2.3.2系统精度分析
§2.4小结
参考文献
第三章光学薄膜光学常数反演的研究
§3.1反演光学薄膜光学常数的理论基础
§3.1.1光学薄膜传输特性矩阵
§3.1.2光学薄膜的色散模型
§3.2光学薄膜光学常数的确定
§3.2.1透明薄膜光学常数的反演
§3.2.2弱吸收薄膜光学常数的反演
§3.3使用光谱拟合法确定薄膜的光学常数
§3.3.1程序总体框架
§3.3.2基于单纯形优化的光谱拟合法
§3.3.3基于模拟退火优化的光谱拟合法
§3.3.4基于遗传算法优化的光谱拟合法
§3.4实验结果及误差分析
§3.4.1待测薄膜样品的制备
§3.4.2实验结果与分析
§3.4.3光谱测试数据的误差对光学常数反演结果的影响
§3.5小结
参考文献
第四章光学薄膜位相特性检测的研究
§4.1光学薄膜位相检测理论
§4.1.1位相调制薄膜应用的概述
§4.1.2基于白光干涉的位相检测理论
§4.1.3光学薄膜的位相特性
§4.2使用光谱型白光干涉系统测量薄膜位相的实现方案
§4.2.1光谱型白光干涉系统
§4.2.2基于傅立叶变换和频域滤波的位相算法
§4.2.3基于干涉强度拟合的位相算法
§4.2.4基于干涉条纹包络线的位相算法
§4.2.5基于局部节点拟合的位相算法
§4.2.6基于小波变换和时频分析的位相算法
§4.3实验装置及测试结果分析
§4.3.1测试系统的搭建
§4.3.2位相测试的结果及分析
§4.3.3群延迟测试的结果及分析
§4.3.4测试误差分析
§4.4小结
参考文献
第五章总结与展望
攻读博士学位期间发表文章目录