声明
致谢
第一章 绪 论
1.1 指纹识别技术
1.2 基于硅的电容式指纹识别技术
1.3 电容式指纹识别技术的研究现状
1.4 本文的选题依据和研究内容
第二章 ZnO-TFTs器件制备与工艺优化
2.1 ZnO材料特性
2.2 实验制备ZnO-TFTs
2.3 热退火对 ZnO-TFTs性能的提升
2.4 本章小结
第三章 透明电容式指纹识别传感器设计
3.1 引言
3.2 透明电容式指纹识别最小单元
3.3 新型有源矩阵单元设计
3.4 本章小结
第四章 指纹识别传感器测试
4.1 引言
4.2 测试平台
4.3 阵列测试
4.4 小结
第五章 外围电路及总体测试
5.1 引言
5.2 外围电路设计
5.3 上位机程序
5.4 总结
第六章 总结与展望
6.1 本文主要研究内容和成果
6.2 论文的不足之处及未来展望
参考文献
攻读硕士期间取得的科研成果
附录