声明
致谢
摘要
1绪论
1．1集成光子器件的发展现状
1．2 SU-8聚合物波导的发展
1．3本文的主要内容及创新点
1．3．1本文主要内容
1．3．2本文创新点
2光波导理论分析
2．1光波导基本理论及数值方法
2．2波导方程
2．2．1麦克斯韦方程
2．2．2平板波导特性分析
2．2．3条形波导特性分析
3基于SU-8微结构的角度探测器
3．1基本工艺及设备介绍
3．1．1薄膜制备
3．1．2曝光
3．1．3刻蚀
3．1．4溅射和蒸镀
3．2 MSM光电探测器原理
3．3基于SU-8微结构的角度探测器
3．3．1基本原理及参数
3．3．2器件制作过程
3．3．3测量系统与测量方法
3．3．4测试结果
3．4本章小结
4两微米波段的SU-8波导及MRR器件
4．1 MRR基本介绍
4．1．1环形谐振腔原理
4．1．2微环谐振腔的基本参数
4．2两微米波段的SU-8光波导研究
4．2．1背景
4．2．2结构设计
4．2．3制备过程
4．2．4测试结果
4．3本章小结
5总结与展望
参考文献
作者简介
攻读硕士学位期间发表的论文及专利
