声明
第一章 绪论
1.1研究背景及意义
1.2 国内外研究现状
1.3 本文的研究目的和内容
1.4本文组织结构
第二章 三维椭圆振动抛光的原理及轨迹研究
2.1 三维椭圆振动抛光的原理
2.2 三维椭圆振动抛光的轨迹研究
2.3 本章小结
第三章 三维EVP装置的设计
3.1 三维EVP装置的结构设计
3.2 柔性铰链机构的静力学分析
3.3 分析与讨论
3.3 柔性铰链机构的动力学分析
3.4振动装置组成与安装
3.5 本章小结
第四章 三维椭圆振动抛光实验
4.1实验平台的搭建
4.2 驱动与传感装置介绍
4.3实验室环境检测
4.4三维椭圆振动装置的解耦性能测试
4.5三维椭圆振动装置的固有频率测试
4.6三维椭圆振动装置的信号响应测试
4.7 三维抛光模拟实验
4.8 三维椭圆振动抛光实验
4.9 本章小结
第五章 全文总结和展望
5.1 全文总结
5.2 后续工作展望
参考文献
发表论文和科研情况说明
致谢
天津理工大学;