文摘
英文文摘
1概述
1.1电容测微技术概述
1.2电容测微技术的研究现状
1.3本文研究的意义和研究内容
本项目研究内容
2电容测微仪原理概述
2.1平行板型电容传感器测量原理
2.2电容测微仪电路工作原理概述
2.3电容测微仪在望远镜中的应用
本章小结
3电容测微仪关键技术分析与研究
3.1电容传感器结构设计分析
3.2等位屏蔽技术及几种可能的方案讨论
3.3主放大器相频特性及其稳定性分析
3.4稳定性参数分析及其电路设计
本章小结
4实验分析
4.1实验系统构成
4.2线性度评定
4.3稳定性评定
4.4误差分析
本章小结
全文总结和展望
攻读博士期间发表的论文及主要科研成果
参考文献
致谢
