有机非致冷热释电薄膜及其热绝缘结构的研究

摘要

该文研究了有机热释电红外焦平面阵列中的有机热释电薄膜制备、特性测试技术、热绝缘微桥结构建立等关键技术.其中，（1）主要讨论了热释电特性测试方法，并建立了动态法热释电系数自动测试系统，对温度升温速率的准确控制以及对数据的同步测量，为测量热释电样品热释电系统提供准确、可靠的测试条件;（2）制备出热释电性能良好的有机热释电薄膜，结果表明热释电聚合物薄膜的热释电特性与厚度有很大关系，膜越厚，热释电电流与热释电系数越小，即膜的厚度与热释电响应特性成反比.与其他成膜方法相比，旋涂制备的薄膜样品对热响应具有更高的灵敏度，更适合用作红外探测器材料;（3）探索了一种新的建立微桥绝热结构的技术途径及工艺方案，验证了用有机材料制作微桥结构的可行性，这种新的工艺相对于以多晶硅等无机材料为基础的微桥制造方法具有成膜温度低，不损害低层电路的优点，且容易实现，制造简单，成本低廉.上述结果为新型有机热释电红外焦平面阵列的研制提供了关键的先期研究基础.

目录

文摘

英文文摘

第一章前言

1.1非致冷红外探测器材料的研究状况

1.2有机热释电材料的研究状况

1.3热绝缘结构的研究状况

第二章有机热释电薄膜制备技术研究

2.1有机热释电薄膜的成膜工艺

2.2有机热释电薄膜的极化技术

2.3有机热释电薄膜微观分析

第三章热释电系数的测量技术

3.1热释电系数的测量原理

3.2动态法热释测试系统

3.3测试结果与讨论

第四章热绝缘微桥结构的建立技术

4.1牺牲层材料的设计依据

4.2建立微桥结构的技术途径

4.3实现热绝缘微桥结构的工艺方法

4.4微桥结构的观测结果

第五章结论

参考文献

致谢