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目录
第1章 前言
1.1 研究背景
1.2 界面表征与微区表征
1.3 论文主要工作与意义
第2章 界面特性与微区表征原理
2.1 异质结界面特性
2.2 异质结C-V法
2.3 微区C-V表征原理
第3章 微区测量硬件系统设计
3.1 系统要求与实现
3.2 硬件系统的结构
3.3 硬件系统的功能
3.4 低噪微弱电流放大器设计
3.5 测量平台噪声与杂散电容
第4章 微区测量软件系统设计
4.1 软件结构
4.2 图形界面控制模块
4.3 数据文件存取模块
4.4 仪器控制模块
4.5 随机误差处理模块
4.6 测量控制模块
第5章 系统参数测量与计算
5.1 系统增益测量与计算
5.2 微区测量系统的噪声测量
5.3 悬臂形变与电压的比例系数测量与计算
5.4 针尖几何参数的测量与计算
5.5 微区极化特性的测量
5.6 本章小结
第6章 微区C-V曲线的测量与分析
6.1 异质结C-V曲线测量
6.2 异质结C-V曲线模拟
6.3 本章小结
第7章 总结
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的研究成果