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目录
第一章 绪 论
1.1引言
1.2 BST的基本结构及理论依据
1.3 BST薄膜在微波调谐领域的应用及性能要求
1.4 BST薄膜掺杂改性研究进展
1.5 论文选题与主要内容
第二章 BST薄膜制备及实验方案
2.1 传统Sol-gel法
2.2 改进的Sol-gel法
2.3 实验方案
2.4 BST薄膜的表征与测试方法
2.5 本章小结
第三章 BST薄膜相结构特征研究
3.1 XRD分析
3.2 介温特性测试
3.3 XPS分析
3.4 SEM分析
3.5 AFM分析
3.6 本章小结
第四章 BST薄膜介电性能研究
4.1 掺杂浓度的影响
4.2 掺杂方式的影响
4.3 频率对比
4.4 层数对比
4.5 本章小结
第五章 结论及展望
5.1 结论
5.2 展望
致谢
参考文献
攻硕期间取得的研究成果