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目录
第一章 绪 论
1.1 研究背景
1.2 国内外研究现状
1.3 本文研究内容
第二章 AlGaN/GaN异质结器件理论与制造技术
2.1 AlGaN/GaN的极化效应
2.2 AlGaN/GaN SBD工作原理
2.3 GaN功率器件制备技术
2.3 本章小结
第三章 MIS栅混合阳极二极管的设计与仿真
3.1 传统GaN功率二极管性能分析
3.2 MIS栅混合阳极二极管的设计
3.3 MIS栅混合阳极二极管的仿真
3.4 本章小结
第四章 MIS栅混合阳极二极管的研制与测试
4.1 工艺流程
4.2 关键工艺研究
4.3 测试及分析
4.4 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 结论
5.2 展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间取得的研究成果