第一章 绪论
1.1选题背景及研究意义
1.2 关键问题及解决方案
1.3 本论文主要研究内容
第二章 样品的制备和性能表征
2.1 实验内容
2.2 表征方法
第三章 ZnO缓冲层的脉冲激光沉积法生长与结构性能表征
3.1 激光能量对ZnO薄膜结构与性能的影响
3.2 衬底温度对ZnO薄膜结构与性能的影响
3.3 激光频率对ZnO薄膜结构与性能的影响
3.4 氧气压强对ZnO薄膜结构与性能的影响
3.5 小结
第四章 GaN薄膜的脉冲激光沉积法低温生长与结构表征
4.1 GaN薄膜的低温生长
4.2 退火条件对GaN薄膜结构的影响
4.3 离子活化源辅助生长的作用
4.4 氮气压强对GaN薄膜结构的影响
4.5 小结
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 下一步工作
参考文献
攻读硕士学位期间已发表和撰写的论文目录
致谢