摘要
1.1研究背景及意义
1.2太阳能电池的发展及种类
1.2.1太阳能电池的发展
1.2.2太阳能电池的种类
1.2.3晶硅电池的增效研究
1.3黑硅太阳能电池
1.3.1黑硅的概述
1.3.2黑硅的制备方法
1.3.3金属辅助腐蚀法的应用及改进
1.4 PN结的制备
1.4.1 PN结的制备方法概述
1.4.2热扩散法的不足
1.5本文主要研究思路
2.1实验原料
2.2实验仪器
2.2.1实验装置
2.2.2实验步骤
2.3实验方案
2.3.1硅片腐蚀
2.3.2制备PN结
2.3.3制备电极
2.4仪器测试方法
2.4.1反射率测试
2.4.2少子寿命测试
2.4.3场发射电子显微镜(FESEM)测试
2.4.4方阻测试
2.4.5量子效率测试
2.4.6电池效率测试
3.1引言
3.1.1黑硅的制备方法
3.1.2黑硅的制备原理
3.2腐蚀液的选择与优化
3.2.1活性位点的选择
3.2.2HF与氧化剂浓度配比
3.3不同工艺对黑硅腐蚀情况的影响
3.3.1硅片的切割方式对其腐蚀情况的影响
3.3.2超声辅助对黑硅制备的影响
3.3.3腐蚀时间对黑硅腐制备的影响
3.4本章小结
4.1引言
4.2 PN的制备原理及工艺
4.2.1 PN结的制备原理
4.2.2退火温度对PN结性能的影响
4.2.3磷酸浓度对PN结性能的影响
4.2.4退火时间对PN结性能的影响
4.2.5腐蚀时间对PN结性能的影响
4.3不同因素对黑硅电池光电转换效率的影响
4.3.1不同腐蚀时间对电池光电转换效率的影响
4.3.2不同退火温度对光电转换效率的影响
4.4黑硅电池性能的提高
4.4.1黑硅电池与原硅片暗电流图对比
4.4.2黑硅电池与原硅片外量子效率图对比
4.4.3黑硅电池与原硅片光电转换效率图对比
4.5本章小结
第5章全文总结与展望
参考文献
攻读学位期间取得的研究成果
致谢
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