飞秒激光制备太阳能电池用黑硅材料及其特性研究

摘要

本文阐述了黑硅材料的研究发展过程。其次，在一定的气体氛围条件下，采用飞秒激光脉冲照射硅片表面，成功地制备出黑硅材料。在扫描电子显微镜下观察了黑硅表面的森林状尖峰结构。研究了激光脉冲个数，气体压强，周围气体氛围条件等参数对黑硅表面微纳结构的影响。另外，采用纳秒激光光源(Nd：YAG355 nm)也在硅表面制备出尖峰状微结构，并研究了纳秒激光条件下，气体种类和气体压强对硅表面微纳结构的影响。最后，对以上两种激光光源条件下所制备的微纳结构的吸收特性进行了分析并对黑硅在太阳能电池上的应用前景进行了展望。