反应溅射Ti-Al-N和Ti-Al-O-N硬质薄膜的制备与表征

摘要

本文首先采用镶嵌复合靶反应溅射技术研究了Ti-Al-N体系中的富Ti的(Ti,Al)N薄膜和富Al的(Al,Ti)N薄膜的制备工艺和薄膜的微结构与力学性能。在此基础上，采用在反应气体中加入氧气的方法，进一步研究了Ti-(Al)-O-N体系中富Ti的(Ti,Al)(O,N)薄膜、富Al的(Al,Ti)(O,N)薄膜和Ti(O,N)薄膜的制备技术及工艺参数对薄膜微结构和力学性能的影响规律，获得了一系列高硬度的Ti-(Al)-O-N薄膜。这类薄膜有望具有更高的抗氧化温度，从而成为新一代刀具涂层材料。