新型硅基共面波导传输线研究

摘要

随着无线通信产业的发展，人们对无线通信产品在尺寸、速度、功耗、价格上提出了越来越高的要求。在市场的推动下，硅基射频集成电路的研究已成为近年来产业界和学术界关注的热点。无源器件作为射频集成电路中不可缺少的部件，受到越来越多的关注。随着系统工作频率和系统性能要求的提高，对于无源器件的性能和模型精度的要求也越来越高。本文介绍了微波集成电路和传输线的基本概念，建立了损耗衬底上传输线的一种新型模型，并推导了模型中元件参数的表达式，详细介绍了验证模型的算法，通过对一共面波导的计算和仿真，证明了此模型能用于40GHz 以下的集总电路参数仿真软件中。本文还介绍了一种新型格状接地屏蔽传输线，并且在标准CMOS工艺下进行流片和测试，根据测量数据推导出等效电路模型参数，和传统传输线的性能进行了比较，从而证明新型，传输线的性能大大超越传统传输线。