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一种新型MEMS共面波导传输线的理论研究

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本文提出了一种适合于MEMS的新颖桥式共面波导(BCPW)结构,采用准静态分析方法对其特征阻抗、导体损耗、介质损耗等基本参数进行了系统的理论计算,并与传统共面波导进行了比较分析,结果表明,新设计具有无辐射损耗、宽阻、低损耗、对加工工艺要求低等显著优点.

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来源
《2003全国微波毫米波会议》|2003年|1103-1108|共6页
会议地点上海
作者
蒋振新; 丁桂甫; 杨春生; 张永华;
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作者单位

中国电子学会;

上海航天局;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类设计与计算;
关键词
桥式共面波导; MEMS加工技术; 特征阻抗; 导体损耗; 介质损耗; 传输线;

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