摘要
1绪论
1．1课题研究背景及意义
1．2国内外研究现状
1．2．1气体轴承研究现状
1．2．2空气主轴性能测试实验台研究现状
1．2．3超精密轴系回转误差研究现状
1．3课题的主要研究内容
2空气静压主轴测试实验台设计
2．1空气静压主轴测试实验台技术指标
2．2系统总体方案设计
2．3实验台机械系统结构设计
2．3．1加载系统设计
2．2．2被测主轴固定结构设计
2．4实验台测试系统设计
2．4．1测试系统构成
2．4．2传感器的选择
2．5供气控制系统设计
2．6本章小结
3空气静压主轴测试实验台的装调与标定
3．1概况
3．2被测主轴夹持装置装调
3．3加载装置装调
3．4驱动系统装调
3．5测试传感器的标定
3．6本章小结
4空气静压主轴回转误差测量方法研究
4．1主轴回转误差测量方法
4．1．1主轴回转误差传统测量方法
4．1．2超精密轴系回转误差传统测量方法
4．2主轴回转误差分离方法
4．2．1主轴回转误差传统分离方法
4．2．2本课题选择的误差分离方法
4．3本章小结
5测试实验研究及误差分析
5．1被测实验主轴结构
5．2测试实验方案
5．2．1实验准备
5．2．2空气静压主轴回转精度测试
5．2．3空气静压主轴转速测试
5．2．4空气静压主轴气膜厚度测试
5．2．5空气静压主轴承载力测试
5．3空气静压主轴各参数测试结果及分析
5．4空气静压主轴测试系统误差分析
5．4．1测试系统误差分析
5．4．2机械装置误差分析
5．4．3测量仪器对测量结果的分析
5．5本章小结
6总结与展望
6．1总结
6．2展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间发表的专利
声明
