(3)无磨损和无污染特点适用于洁净要求苛刻的'/>
封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
第一章 绪论
1.1课题来源与背景
1.2超高加速精密系统介绍
1.3 高加速气浮运动系统介绍
1.4 国内外研究现状综述
1.5 问题提出与研究路线
1.6 论文研究内容与安排
第二章 气浮运动系统分析与建模
2.1引言
2.2机电系统分析与建模
2.3机构薄弱环节分析与建模
2.4气浮运动系统干扰环境分析与建模
2.5 气浮运动系统模型综合描述
2.6本章小结
第三章 气浮运动系统的继电反馈辨识
3.1引言
3.2继电反馈辨识的基本原理与方法
3.3面向交流伺服运动系统的继电反馈辨识非线性分析
3.4 交流伺服运动系统继电反馈辨识的参数选择和应用原则
3.5气浮运动系统的参数辨识
3.6本章小结
第四章 气浮运动系统的快速抑振精确定位控制策略
4.1引言
4.2控制器设计目标与思想
4.3 二自由度控制结构设计
4.4 基于输入整形的快速抑振控制算法设计
4.5快速抑振精确定位控制器实现
4.6 本章小结
第五章 气浮运动系统的控制系统实现
5.1 引言
5.2 基于RTX的全软件控制器系统
5.3 改进型“RTX+MCT8000F4”控制器系统
5.4 基于dSPACE平台控制系统
5.5比较与应用
5.6 本章小结
第六章 系统仿真与实验
6.1引言
6.2气浮运动系统继电反馈辨识仿真与实验
6.3 气浮运动系统快速抑振精确定位控制仿真与实验
6.4 本章小结
第七章 总结与展望
7.1论文工作总结
7.2论文创新点
7.3 研究展望
参考文献
攻读博士学位期间已发表的学术论文
攻读博士学位期间登记的软件著作权
致谢