摘要
Abstract
第一章 绪论
第一节 刻蚀概念简介
第二节 大马士革镶嵌工艺简介
第三节 刻蚀设备生产效能定义
本文内容
第二章 优化刻蚀设备的静电放电性能
第一节 静电吸盘(ESC)结构
第二节 ESC工作原理与除电性能改进
第三节 应用除电终点侦测法优化ESC放电性能
本章小结
第三章 提升刻蚀设备制程绩效(CPK)
第一节 制程绩效(CPK)概念介绍
第二节 设备制程绩效(CPK)管理与应用
第三节 提高阻挡层刻蚀速率稳定性与CPK指标改进
本章小结
第四章 工艺能力和管理系统的持续改善
第一节 电介质刻蚀反应室的缺陷改善
第二节 应用先进制程控制(APC)提高工艺一致性
第三节 提高保养成功率和延长保养周期
第四节 智能设备参数管理(IEMS)系统的应用
第五节 FDC故障侦测与预警系统的应用
本章小结
全文总结
参考文献
致谢
