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晶圆制造系统炉管区调度方法研究

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第一章 绪论

1.1 课题研究背景及研究意义

1.2 国内外研究现状

1.3 论文的研究体系架构

1.4 论文章节安排

第二章 炉管区并行批处理机调度方法

2.1 引言

2.2 问题描述与建模

2.3 求解炉管区PMBSP-FD问题的混合蚁群算法

2.4 试验结果与分析

2.5 本章小结

第三章 炉管区可重入柔性流水车间调度方法

3.1 引言

3.2 问题描述与建模

3.3 求解炉管区RFFSP-FD问题的三级蚁群算法

3.4 试验结果与分析

3.5 本章小结

第四章 炉管区生产调度原型系统

4.1 炉管区生产调度系统概述

4.2 炉管区生产调度系统需求分析

4.3 炉管区生产调度系统设计

4.4 炉管区生产调度原型系统界面

4.5 实例验证

4.6 本章小结

第五章 总结与展望

5.1 工作总结

5.2 展望

参考文献

攻读学位期间的研究成果

致谢

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著录项

  • 作者

    蒋小康;

  • 作者单位

    东华大学;

  • 授予单位 东华大学;
  • 学科 机械工程
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 张洁;
  • 年度 2019
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 中文
  • 中图分类
  • 关键词

    晶圆; 制造系统; 炉管; 调度;

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