基于Petri网的集成电路柔性制造系统建模、分析及调度

摘要

该文首次提出了一种面向集成电路柔性制造系统的基于共享

目录

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第一章绪论

§1.1虚拟制造的发展状况

§1.1.1制造业的发展

§1.1.2虚拟制造技术和虚拟企业

§1.2集成电路虚拟制造体系结构

§1.2.1虚拟制造的含义

§1.2.2三中心耦合结构

§1.3本文的主要研究内容

第二章离散事件动态系统与Petri网

§2.1柔性制造系统和离散事件动态系统

§2.2 Petri网理论基础

§2.2.1形式化定义

§2.2.2属性及含义

§2.2.3着色Petri网简介

§2.3 Petri网的分析方法

§2.3.1基于状态转换树的可达性分析法

§2.3.2不变分析法

§2.3.3基于“虹吸”和“陷阱”结构的分析方法

§2.3.4基于等价变换的简化法

§2.4特殊Petri网

§2.4.1状态机Petri网

§2.4.2事件图Petri网

§2.4.3对称选择Petri网和非对称选择Petri网

§2.5 Petri网的建模方法

§2.5.1至底向上

§2.5.2至顶向下

§2.6小结

第三章面向IC制造系统的Petri网建模及其理论研究

§3.1至底向上的结构化建模方法

§3.1.1“资源共享模型”和“加工过程模型”

§3.1.2基于“自治子网”的子网融合方法

§3.2模型属性分析

§3.2.1模型的有界性

§3.2.2网络的活性

§3.3网络活性保证策略

§3.4小结

第四章应用实例

§4.1集成电路柔性制造系统布局

§4.2园片传输系统建模

§4.2.1系统布局模型

§4.2.2 AGV's路由选择模型

§4.2.3拥塞控制模型

§4.3园片工艺系统建模

§4.3.1工艺流模型

§4.3.2工艺单元模型

§4.3.3模型属性分析

§4.3.4模型活性保证

§4.4小结

第五章基于Petri网的启发式调度算法

§5.1模型建立

§5.2调度算法

§5.3实例分析与结论

§5.4小结

第六章结论

致谢

参考文献

攻读博士学位期间的研究成果