CCD芯片关键性能参数的测量系统及其测量方法设计

摘要

CCD是现代光电子技术发展中最重要的研究成果之一，作为一种重要的光电探测器件，它的各项性能参数在很大程度上决定了探测系统的性能。因此，在研制探测系统等应用中，需要选择合适性能参数的CCD芯片。但是，CCD生产厂家提供的性能参数指标并不一定等于 CCD实际应用中所需要的性能参数指标。因此，需要设计研制出一套测量 CCD芯片性能参数的系统，进而测量其性能参数，以实现CCD芯片的筛选和性能的评估。
　　本文首先介绍了国内外 CCD芯片性能参数测量研究的发展以及应用现状，之后描述了由欧洲机器视觉协会发布的用来测量 CCD芯片性能参数的EMVA1288标准，以及测量各个参数的前提条件和测量原理。在此基础之上，设计论证了一套 CCD芯片关键性能参数的测量系统，介绍了系统中各部分仪器工作的基本原理、作用以及其选型依据。最后参照标准中提供的测量方法，设计了相关性能参数的测量流程。该测量系统及其测量方法完全兼容EMVA1288标准，并且符合标准中规定的测量要求。