集成电路成品率的版图灵敏度模型研究

摘要

在深亚微米技术节点，成品率设计，尤其是版图设计阶段的成品率设计是解决可制造性问题和成品率问题的重要途径。为了减少由冗余物缺陷所引起的成品率损失，选择优先进行优化的候选线网成为版图优化过程中的一个重要课题。
　　本文提出了一种新的短路灵敏度模型，该模型以线网为单位，反映了单位面积膨胀后的线网上该线网与周围线网间的关键面积的大小。由于本文的灵敏度模型是关于单一线网的，同时又包含候选线网周围线网的信息，因此，在优化时可以同时减少候选线网与周围线网之间的短路关键面积，提高了版图优化的效率。与以往的考虑芯片面积或者考虑基本版图的信息灵敏度模型相比，本文提出的短路灵敏度模型小仅优化效率高，而且更加适用于版图优化时待优化线网的选择。
　　关于开路灵敏度模型，因为灵敏度模型的研究最终是为了进行版图优化设计以提高成品率，所以本文提出了考虑线网优化空间的开路灵敏度模型。该模型综合分析了线网进行优化的必要性和可能性，可以确保选取的优化位置能够进行高效的版图优化。

目录

声明

摘要

第一章 绪论

1．1 集成电路成品率研究的意义

1．2 集成电路制造成品率的研究

1．3 版图灵敏度的研究意义

1．4 版图灵敏度模型的研究现状

1．5 本论文的内容与安排

第二章 灵敏度模型研究的前期准备

2．1 缺陷分析

2．1．1 真实缺陷的测试结构

2．1．2 缺陷的粒径分布和空间分布

2．1．3 版图和缺陷的矩阵表示

2．2 数学形态学算法

2．2．1 数学形态学基本运算

2．2．2 数学形态学算法的应用

2．3 关键面积

2．3．1 冗余物缺陷和短路关键面积

2．3．2 丢失物缺陷和开路关键面积

2．4 小结

第三章 反映到单一线网的短路灵敏度模型

3．1 现有的短路灵敏度模型

3．1．1 基于版图信息的灵敏度模型

3．2．2 基于单位芯片上关键面积大小的短路灵敏度模型

3．2 反映到单一线网的短路线网灵敏度模型

3．2．1 短路线网灵敏度模型(NSS)的提出

3．2．2 模型的计算机辅助算法

3．3 模型的应用

3．3．1 基于该模型的版图优化方法

3．3．2 考虑粒径分布的模型应用

3．3．2 优化方法的性能分析

3．4 小结

第四章 考虑线网周围空白空间的开路线网灵敏度模型

4．1 现有的开路灵敏度模型

4．1．1 基于单位芯片上关键面积大小的开路灵敏度模型

4．1．2 基于单位线网的开路灵敏度模型

4．2 考虑线网周围空白空间的开路线网灵敏度模型

4．2．1 模型提出的依据

4．2．2 模型的提出

4．2．3 模型的计算机辅助算法

4．3 模型的应用

4．3．1 模型初步验证

4．3．2 对复杂版图的验证

4．3．3 模型的性能分析及适用范围

4．4 小结

第五章 结束语

致谢

参考文献

研究成果