基于丢失物缺陷的开路关键面积减小方法研究

摘要

集成电路发展规模的不断扩大以及各个元器件尺寸的不断缩小,使得如何保持和改进集成电路的制造成品率成为优化集成电路设计、改进生产工艺的热门问题。成品率设计已经成为解决集成电路的可制造性问题和成品率问题的关键方法,因此为了降低由丢失物缺陷引起的成品率损失,减少由丢失物缺陷产生的开路关键面积和选取版图优化过程中待优化的线网成为一个重要课题。
　　本文提出了基于产生开路关键面积区域的开路优化算法和并将该算法与开路灵敏度模型相结合共同实现版图线网的开路优化。全文首先分析了集成电路制造工艺过程中出现的随机缺陷的类型以及数学形态学的基本算法,然后对随机缺陷产生的关键面积区域进行特征表述并提出开路优化算法,最后对现有的开路灵敏度模型进行研究,对比现有的开路灵敏度模型在开路优化过程中的影响,并将灵敏度模型与开路优化算法相结合来实现集成电路的版图优化。
　　通过减小开路关键面积来实现版图优化是实现集成电路成品率提高的一种非常有效的途径。本文提出的开路优化算法是建立在开路关键面积提取算法上,提取开路关键面积区域所在的线网区域,对该区域进行开路线网的优化从而实现开路关键面积的减小,同时本文对比现有的灵敏度模型来选取最合适的模型与开路优化算法结合来实现版图线网的开路优化。

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第一章 绪论

1.1 引言

1.2 集成电路成品率

1.3 论文内容安排

第二章 工艺缺陷研究

2.1 缺陷类型

2.2 缺陷模型

2.3 关键面积概念与分类

2.4 本章小结

第三章 数学形态学基本理论

3.1 二值腐蚀和膨胀

3.2 开和闭运算

3.3 击中击不中变换

3.4 细化

第四章 关键面积特征表述和开路关键面积优化算法

4.1 关键面积的提取方法

4.2 本文用到的开路关键面积提取方法

4.3 开路关键面积区域特征描述

4.4 基于产生开路关键面积区域的开路优化算法

4.5 开路关键面积的优化算法比较

第五章 开路灵敏度模型比较与应用

5.1 开路灵敏度模型分析与优缺点

5.2 开路灵敏度模型应用的比较

5.3 开路线网优化算法与开路灵敏度模型的结合应用

第六章 总结与展望

致谢

参考文献

研究成果