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声明
第一章绪论
1.1 研究背景
1.2研究现状
1.3论文结构
第二章微定位系统
2.1压电陶瓷驱动器
2.1.1 压电效应
2.1.2微定位平台设计
2.1.3柔性铰链导向机构
2.1.4微定位系统中定位信号
2.2影响定位精度的因素
2.2.1 迟滞特性
2.2.2蠕变特性
2.2.3谐振特性
2.2.4 温漂特性
2.2.5耦合效应
2.2.6刚度
2.3补偿方法
2.3.1 电荷驱动方法
2.3.2 皆振特性补偿
2.3.3 自适应逆控制
2.3.4 PID控制
2.3.5神经网络
2.4本章小结
第三章压电驱动器X轴向模型及控制器设计
3.1引言
3.2控制器设计思想
3.3迟滞建模
3.3.1 Preisach迟滞模型
3.3.2 Prandtl-Ishlinskii迟滞模型
3.3.3参数辨识
3.3.4建模仿真研究
3.4 X轴向PI模型逆控制
3.4.1迟滞的可逆性证明
3.4.2 PI迟滞模型的逆推导
3.4.3基于PI模型逆控制实现
3.4.4控制实验研究
3.5本章小结
第四章压电驱动器Z轴向模型及控制器设计
4.1 引言
4.2 Z轴向驱动器模型
4.3常规数字PID控制
4.4参数自调节PID控制
4.5积分谐振控制器
4.6实验结果分析
4.7本章小结
第五章三自由度压电驱动微定位实验平台
5.1 引言
5.2微位移平台
5.2.1微位移驱动器
5.2.2微位移传感器
5.3驱动器电源
5.4数字采集卡
5.5信号处理电路
5.6实验平台说明
5.7本章小结
第六章总结与展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间完成的论文及参加的科研工作