声明
摘要
第一章 绪论
1．1 LaB6的晶体结构、性质及应用
1．1．1 LaB6的晶体结构
1．1．2 LaB6的基本性能及应用
1．1．3 LaB6材料的研究进展
1．2 薄膜制备技术及生长机制
1．2．1 薄膜制备技术
1．2．2 薄膜生长过程
1．3 LaB6薄膜化学成分分析
1．4 磁控溅射有机织物基薄膜的研究现状
1．4．1 磁控溅射法在织物后整理工艺上的应用
1．4．2 磁控溅射法制备抗菌织物的研究现状
1．4．3 磁控溅射法制备电磁屏蔽织物的研究现状
1．4．4 磁控溅射法制备防紫外织物的研究
1．5 选题意义及研究内容
第二章 实验方案及研究方法
2．1 技术路线及研究方案
2．2 试验用原材料及主要仪器设备
2．2．1 试验材料
2．2．2 主要仪器设备
2．3 溅射用靶材的制备
2．4 LaB6薄膜的制备
2．5 LaB6薄膜成分调控
2．5．1 X射线光电子能谱分析
2．5．2 背底选择和定量分析
2．6 织物的结构参数测试与预处理工艺
2．6．1 织物紧度
2．6．2 织物厚度
2．6．3 织物每平方米克重
2．6．4 织物抗拉强度
2．6．5 预处理工艺
2．7 LaB6薄膜组织结构表征
2．7．1 结构表征
2．7．2 表面形貌表征
2．7．3 化学键合表征
2．8 LaB6薄膜性能表征
2．8．1 防紫外性能允析
2．8．2 红外性能分析
2．8．3 电阻测试分析
2．8．4 磁学性能分析
2．8．5 高温热稳定性分析
2．8．6 耐洗涤性能分析
第三章 富硼LaB6靶材与薄膜化学当量的相关性研究
3．1 靶材成分设计
3．1．1 靶材粉末XPS全谱
3．1．2 靶材粉末铺硼元素分峰拟合
3．1．3 镧硼原子比
3．2 富硼LaB6薄膜XPS分析
3．2．1 薄膜XPS全谱
3．2．2 薄膜镧硼元素分峰拟合
3．2．3 薄膜与靶材成分的关系
3．3 富硼LaB6薄膜XRD分析
3．4 富硼LaB6薄膜AFM分析
3．4．1 AFM表面形貌分析
3．4．2 AFM粗糙度分析
3．4．3 AFM表面高度分析
3．5 富硼LaB6薄膜SEM分析
3．5．1 富硼量对表面形貌和断口形貌的影响
3．5．2 富硼量对沉积速率的影响
3．6 富硼LaB6薄膜的Raman光谱分析
3．7 本章小结
第四章 有机织物基LaB6薄膜的生长研究
4．1 有机织物基LaB6薄膜表面形貌分析
4．1．1 氩气气压的影响
4．1．2 溅射功率的影响
4．1．3 工作偏压的影响
4．1．4 溅射时间的影响
4．2 断口形貌观察与沉积速率
4．2．1 氩气气压的影响
4．2．2 溅射功率的影响
4．2．3 工作偏压的影响
4．2．4 溅射时间的影响
4．3 LaB6薄膜的分子结构分析
4．4 优化工艺下有机织物基LaB6薄膜的精细结构表征
4．5 织物结构变化
4．6 本章小结
第五章 有机织物基LaB6薄膜的性能研究
5．1 有机织物基LaB6薄膜防紫外性能
5．1．1 透过光谱
5．1．2 氩气气压的影响
5．1．3 溅射功率的影响
5．1．4 工作偏压的影响
5．1．5 溅射时间的影响
5．2 有机织物基LaB6薄膜红外性能
5．2．1 氩气气压的影响
5．2．2 溅射功率的影响
5．2．3 工作偏压的影响
5．2．4 溅射时间的影响
5．3 有机织物基LaB6薄膜电学性能
5．4 有机织物基LaB6薄膜磁学性能
5．5 有机织物基LaB6薄膜高温稳定性能
5．6 有机织物基LaB6薄膜耐洗涤性能
5．7 本章小结
第六章 结论
本文的主要创新点
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间发表的论文
参与项目
奖励情况
