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【6h】

基于SiO2/Si衬底CVD制备石墨烯及其枝晶研究

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摘要

1.1引言

1.2石墨烯的结构与性质

1.2.1石墨烯的结构

1.2.2石墨烯的性质

1.3石墨烯的应用

1.3.1石墨烯透明电极材料

1.3.2场效应晶体管

1.3.3传感器

1.3.4储能材料

1.4绝缘衬底制备石墨烯的研究进展

1.5石墨烯枝晶制备的研究进展

1.6论文的选题依据与主要研究内容

参考文献

第二章石墨烯的制备与表征

2.1石墨烯的制备方法

2.1.1机械剥离法

2.1.2化学气相沉积法

2.1.3氧化还原法

2.1.4 SiC外延生长法

2.2石墨烯的转移方法

2.2.1湿法转移

2.2.2干法转移

2.2.3鼓泡转移法

2.2.4热胶带剥离转移法

2.3石墨烯的表征

2.3.2扫描电子显微镜

2.3.3原子力显微镜

2.3.4拉曼光谱

2.3.5透射电子显微镜

参考文献

第三章基于SiO2/Si衬底制备石墨烯新方法研究

3.1引言

3.2实验仪器设备与原料

3.3 h-BN诱导石墨烯的可控生长研究

3.3.1实验过程

3.3.2 h-BN转移方法

3.3.3甲烷流量和生长温度对h-BN诱导生长石墨烯的影响

3.3.4石墨烯的形貌分析

3.4石墨烯微晶片的可控制备研究

3.4.1实验过程

3.4.2甲烷流量对石墨烯生长的影响

3.4.3生长温度对石墨烯生长的影响

3.4.4生长时间对石墨烯生长的影响

3.5本章小结

参考文献

第四章基于SiO2/Si衬底制备石墨烯枝晶的研究

4.1引言

4.2实验方法

4.3生长温度对石墨烯枝晶生长的影响

4.4生长时间对石墨烯枝晶生长的影响

4.5实验结果与讨论

4.5.1枝晶的组分分析

4.5.2枝晶的拉曼光谱分析

4.5.3枝晶的透射电子显微镜分析

4.5.4枝晶的电学与力学性能分析

4.6本章小结

参考文献

5.1论文主要结论

5.2实验主要创新点

5.3展望

致谢

攻读学位期间发表的学术论文和参加科研情况

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著录项

  • 作者

    李迎仙;

  • 作者单位

    山东大学;

  • 授予单位 山东大学;
  • 学科 无机化学
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 于法鹏,许士才,赵显;
  • 年度 2019
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 中文
  • 中图分类
  • 关键词

    SiO2; 衬底; CVD; 制备; 石墨;

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