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声明
1绪论
1.1课题研究的背景
1.2国内外研究现状
1.3课题来源及本文的主要研究内容
2光电探测器研究基础
2.1光电探测器性能参数
2.1.1光谱响应度
2.1.2暗电流及伏安特性
2.1.3线性度
2.2光电探测器工艺参数
2.3光电探测器有关噪声方面的参数
2.4光电探测器的制作
2.5本章小结
3光谱响应度测试系统的设计
3.1光电探测器响应度测试方案
3.1.1光谱响应度的直接测量
3.1.2光谱响应度间接测试
3.2光谱响应度测试系统的总体设计
3.3测试系统开发
3.3.1单色仪自动控制方案
3.3.2步进电机驱动器的研制
3.3.3单色仪控制的软件实现
3.4.本章小结
4光谱响应度测试
4.1光谱响应度实验
4.2误差分析
4.3本章小结
5光电探测器暗电流及伏安特性测试
5.1暗电流测试
5.1.1 暗电流测试意义
5.1.2暗电流测试
5.1.3影响暗电流的因素
5.2伏安特性测试
5.3本章小结
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致 谢
大连理工大学;