声明
摘要
1 绪论
1.1 课题背景
1.1.1 金刚石材料介绍
1.1.2 单晶金刚石的应用
1.2 国内外研究现状
1.2.1 单晶金刚石的研磨和抛光技术
1.2.2 单晶金刚石材料的去除方式
1.2.3 目前加工方法存在的问题
1.3 课题来源与研究内容
1.3.1 课题来源
1.3.2 研究内容
2 单晶金刚石的机械研磨
2.1 机械研磨试验条件
2.1.1 机械研磨试验材料与设备
2.1.2 单晶金刚石试件粘结方案
2.1.3 研磨压力
2.2 单晶金刚石的机械研磨试验及结果分析
2.2.1 机械研磨试验
2.2.2 机械研磨试验结果分析
2.3 本章小结
3 单晶金刚石的化学机械抛光工艺
3.1 化学机械抛光试验条件
3.1.1 化学机械抛光试验材料与设备
3.1.2 抛光压力
3.1.3 抛光液
3.1.4 单晶金刚石试件的表面清洗方案
3.2 抛光盘特征对单晶金刚石抛光效果的影响
3.2.1 抛光盘表面形貌对单晶金刚石抛光效果的影响
3.2.2 抛光盘面形对单晶金刚石抛光效果的影响
3.2.3 抛光盘硬度对单晶金刚石抛光效果的影响
3.3 单晶金刚石的化学机械抛光试验及结果分析
3.3.1 抛光试验
3.3.2 抛光试验结果分析
3.3.3 单晶金刚石表面划痕的去除
3.4 本章小结
4 单晶金刚石的机械研磨与化学机械抛光组合加工工艺
4.1 试验条件
4.2 机械研磨与化学机械抛光组合加工工艺试验
4.3 单晶金刚石加工后表面分析
4.3.1 单晶金刚石加工表面Raman分析
4.3.2 单晶金刚石加工表面XPS分析
4.3.3 单晶金刚石的表面形成过程
4.4 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文与专利情况
致谢