声明
摘要
引言
1 碳的纳米形态-碳纳米管与碳纳米线圈
1.1 碳纳米管简介
1.1.1 碳纳米管的发现及研究背景
1.1.2 碳纳米管的分类
1.1.3 碳纳米管的制备
1.1.4 碳纳米管的性质及应用
1.2 碳纳米线圈简介
1.2.1 碳纳米线圈的发现及研究背景
1.2.2 碳纳米线圈的制备
1.2.3 碳纳米线圈的性质及应用
1.3 目前碳纳米线圈导电性存在的问题
2 制作四电极基板
2.1 光刻
2.1.1 光刻原理
2.1.2 光刻的工艺流程
2.1.3 小结
2.2 磁控溅射
3 电学测量方法与变程跳跃电导
3.1 四探针电学测试方法
3.2 变程跳跃电导Mott模型与Efros-Shklovskii模型
4 样品的制备
4.1 成长碳纳米线圈
4.2 提纯碳纳米线圈
4.3 转移碳纳米线圈
5 实验结果与讨论
5.1 碳纳米线圈的线径、螺径与螺距的统计
5.2 通过拉曼光谱估计晶粒大小
5.3 通过透射电镜图片来确定晶粒大小
5.4 低温条件下电学性质的测试与分析
5.5 高于室温的电学性质与分析
5.6 小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢